top of page

Возможности системы:

  • Два оптических тракта для одновременного использования лазеров на разных длинах волн в PLD процессе

  • 5-осевая образцовая платформа для позиционирования образцов, оснащенная лазерной системой нагрева образца для использования с RHEED

  • Автоматизированный процесс нагрева вакуумной камеры; встроенные датчики температуры

  • Возможность удаленного управления и дистанционного контроля

  • Предварительная подготовки и отжиг подложек перед процессом

  • Делитель лазерного пучка и непрерывное измерение энергии лазера с возможностью автоматической юстировки энергии

  • Все механические компоненты оборудованы шаговыми двигателями или пневматическими приводами

  • Встроенный квадрупольный масс-спектрометр

  • Дублирующий контроль: все окна оснащены CCD камерами

  • Мультикатодная система одновременного PLD и магнетронного осаждения DC/RF

  • Встроенная RHEED-система с программным управлением наклона/вращения образца в режиме реального времени для визуализации кристаллической структуры синтезированной пленки

  • Автоматическая загрузка образцов

  • Автоматически управляемая система откачки и камера с контролем давления

  • Возможность запуска заранее заданных протоколов осаждения

Основные параметры: 

  • Предельное давление до 1*10-11 мбар

  • Типы лазеров для процесса PLD: KrF, Nd: YAG и пр.

  • Максимальное количество держателей для PLD мишеней - 6

  • Диаметр подложки - до 4 дюймов

  • Тип нагрева подложки: сопротивительный или лазерный

  • Возможность работы в реактивных газах при давлении до 10 мбар при T подложки ≤ 1200C

  • 5-осевая образцовая платформа для RHEED и наклонного напыления

  • Количество катодов DC/RF магнетрона - до 8

  • Диаметр катода магнетрона - до 4 дюймов

  • Равномерность покрытия +- 2,5%

X-Spectrum

Заказчик: 

Немецкий Электронный Синхротрон DESY (г. Гамбург, Германия)

Выполнено: 

  • разработка уникальной облегченной установки (вес - 7 кг.) для синтеза наноструктур;

  • изготовление, сборка и испытания установки;

  • запуск и отладка работы установки (DESY, Hamburg)

Вакуумная система 2D рентгеновского/электронного детектора высокого разрешения X-Spectrum

​

X-Spectrum

Заказчик: 

Немецкий Электронный Синхротрон DESY (г. Гамбург, Германия)

Выполнено: 

  • разработка вакуумной системы перемещения детектора для введения в пучок излучения;

  • запуск и отладка работы установки (DESY, Hamburg)

Установка для нанесения катодных покрытий суперконденсаторов на основе наночастиц аморфного углерода

Katody
Камера2_!_edited.jpg
Камера2_2_edited.jpg

Заказчик:

Исследователи из Физико-Технического Института им. Иоффе

Выполнено:

  • разработка и изготовление установки;

  • тестовые испытания на производственной базе Coherent Inc. (г. Гамбург, Германия);

  • запуск и отладка работы установки.

Установка in line импульсного лазерного осаждения на канале MARIA нейтронного источника FRM II (FZ Julich)

Julich
Изометрия разрез.jpg
photo_2020-08-28_01-18-46.jpg

Заказчик:

Юлихский исследовательский центр, г. Юлих, Германия

​

Выполнено:

  • разработка и изготовление установки;

  • тестовые испытания прототипа в условиях нейтронного источника;

  • сдача установки запланирована на октябрь 2019 года

Установка импульсно-лазерного осаждения на гамма-оксид алюминия в форме микро-гранул

Balls
1.jpg
photo_2019-10-01_09-56-43.jpg
2.jpg

Заказчик:

Исследователи из Физико-Технического Института им. Иоффе

Выполнено:

  • разработка ЭКД установки;

  • запланировано на 2020 год.

Термо -ячейка для синтеза и исследований структур катализа на лабораторном XAFS спектрометре и синхротронных станциях
 

Rostov
Ростов_2.jpg
Ростов_1.jpg

Заказчик:

Южный федеральный университет, г. Ростов-на-Дону

Выполнено:

  • разработка и изготовление установки;

  • запуск и отладка работы установки

Проектирование строительства и оснащения коммерческого лабораторного комплекса в г. Москва
 

Moskva
Сни3425мок.PNG
Снимок.PNG

Выполнено:

  • эскизный проект;

  • планировочные решения лабораторных и офисных помещений;

В работе:

  • технологические решения: подбор оборудования, проектирование сетей;

  • комплект рабочих чертежей;

  • комплектация;

  • авторский надзор за ходом строительных и отделочных работ.

Проектирование строительства и оснащения коммерческого лабораторного комплекса в г. Санкт-Петербург
 

Piter
photo_2020-03-16_14-05-40.jpg

Выполнено:

  • технологические решения: подбор оборудования, проектирование сетей;

  •  планировочные решения лабораторных и офисных помещений;

  • проект помещений и территории комплекса;

  • комплект рабочих чертежей;

  • авторский надзор за ходом строительных и отделочных работ.
    Объект сдан
     

IMG_20191227_112257-PANO_edited.jpg
bottom of page